芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套

簡要描述：芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套：DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

產品型號： VC-DJR-156

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更新時間：2023-11-20

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芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套的前因：

由于半導體生產常常需要使用各種化學氣體，這些氣體也會隨著工藝的過程，由真空泵從反應腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣，這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導體生產廠家都需要對工藝設備尾氣進行有效的處理，以減少對環境的污染。因此，在半導體制造機臺中，尾氣處理裝置是半導體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中，氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，經過在真空反應室內的一系列反應后，氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結晶，因此尾氣處理過程中結晶體會附著在排氣管的管壁上，極易對排氣管進行堵塞，同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD，同時提高生產成本。

需要加熱馬甲的部門：

DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用：

通過升高管路工作溫度，減少管內介質結晶，避免管路堵塞，減少PM周期，提高產能。

加熱馬甲溫度要求：

PVD：150°、170°（也有180°）

ETCH：80°-120°

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套

形結構制作，包括法蘭，閥門，管路，泵體等，限度的減少暴露點，維持可靠安全的溫度環境，防止沉積。    

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套整體為柔性耐腐蝕材質制作，不燃、可在潔凈環境下使用，保溫隔熱層有效的組織了熱量的散失，功率密度分布均勻的加熱層和內置溫度傳感器及溫度保險裝置保證了加熱溫度的均勻性和可靠性。根據被加熱體的機

構變化，由多個加熱套組成一個加熱系統，整體對被加熱體進行加熱保溫，系統內的個體加熱套可以分別拆卸反復使用，大大降低了使用和維護成本，個體加熱套之前通過專用插頭連接，組成了一個高效的保溫加熱系統。

根據使用要求有多種方式可對加熱系統進行溫度控制和安全監護，加熱系統中每一個個體加熱套可獨立外掛溫控模塊進行控溫。